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簡(jiǎn)要描述:德國(guó)osiris熱板:HOTPLATES,專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì),可適用最大 200/300 或 450mm的基材,具有真空通道用于基板固定。
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德國(guó)osiris熱板:HOTPLATES
設(shè)計(jì)用于以下應(yīng)用:
SOFTBAKE(預(yù)烘烤)、HARDBAKE、
HMD(六甲基二硅氮烷)可選:蒸汽灌注、真空干燥
特點(diǎn):
1.單面烘烤模塊
2.不同的基材系統(tǒng):最大 200/300 或 450mm
3.電子或氣動(dòng)頂銷
4.具有不同頂部插入件的不銹鋼舉升銷
5.控制器單元:半自動(dòng)或手動(dòng)
6.真空通道用于基板固定
7.集成式排煙
8.可選的:
- 氮?dú)獯祾撸∟2) - 提升銷用于邊緣處理
9.專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)
1.UNIXX HvT20
(直徑200mm)用于HMDS底漆和真空脫水烘烤的臺(tái)式加熱板工具。
(可臺(tái)式或獨(dú)立式)
2. UNIXX HeT20
(直徑200mm)帶電子驅(qū)動(dòng)提升銷的臺(tái)式加熱板工具。
(或安裝在臺(tái)上
3.UNIXX HpT20
(直徑200mm)帶有氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)提升銷的臺(tái)式加熱板工具。
(或臺(tái)式)
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