NXQ4006光刻機在操作中應該要注意以下幾點:
1、進入機倉檢查或維修必須切斷電源,掛上警示牌并與中控。
2、檢修或檢查時必須使用36V以下照明。
3、必須經(jīng)常監(jiān)視機器運轉情況,如聽任何不正常聲音,應立即停機檢查,查明原因并處理完故障后,方可重新起動。
4、正常運轉中,應特別注意電機和轉子的溫度變化,保證充足的油潤滑、水冷卻,超過規(guī)定值立即停機檢查。
5、運行時,不準打開觀察孔,以防物料飛出傷人。
6、每周應檢查一次轉子卡箍螺栓的松緊情況。
7、每天開機前應檢查襯板螺絲是否松動并緊固。